برای دانلود اصل مقاله انگلیسی اینجا کلیک کنید "تلاش های مهندسی شیمی JPL محدود به بررسی راکتورهای شیمیایی مناسب با تبدیل سیلان به سیلیکون بوده است. دستاورد نتایج اخیر برنامه ی مواد سیلیکونی چنین می باشد که روند سیلانی احتمال بالایی در رسیدن به هدف برنامه نشان داده است واینکه توسعه ی راکتور رسوبگیری در روند سیلانی مشکلی چشمگیر ...

"زمینه ی فنی 0002. افشاییه ی پیش رو مربوط به شیوه های تولید سیلیکون الکترونیکی خالص می باشد.بویژه در ارتباط با شیوه های تولید دانه های سیلیکونی خالص توسط CVD (رسوب سازی با بخار) از گازهای سیلیکونی بر روی ذرات اولیه و بواسطه ی تجزیه در راکتور بستر سیال می باشد. "  برای دریافت اصل مقاله انگلیسی اینجا را کلیک کنید. ترجمه این فایل 16 صفحه ...